金融界2025年6月21日音书，国度学问产权局信息线路，拓荆科技（上海）有限公司央求一项名为“一种薄膜千里积系统”的专利kaiyun电子平台，公开号CN120174337A，央求日历为2025年03月。

专利选录线路，本发明提供了一种薄膜千里积系统。所述薄膜千里积系统包括第一气源、第一气体管路登科二气体管路。该第一气源用于提供造成应力薄膜的第一气体。该第一气体管路第一端臆想所述第一气源，而其第二端瞄准晶圆后面的第一区域登科二区域，其中，所述第一区域与所述第二区域对于所述晶圆的第一径向对称漫衍。该第二气体管路第一端臆想所述第一气源，而其第二端瞄准所述晶圆后面的第三区域登科四区域，其中，所述第三区域与所述第四区域对于所述晶圆的第二径向对称漫衍。

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